高精度与高重复性： 基于先进的光学反射原理与精密的算法模型，我们的设备能够实现纳米精度的测量精度，并具备极高的重复性。无论是单层膜还是复杂的多层膜堆叠，都能确保每一次测量数据的稳定可靠，为工艺开发和品质控制提供坚实的数据基础。

非接触无损测量： 采用完全光学非接触式测量，彻底避免了对待测样品的划伤或污染。这一特性尤其适用于测量晶圆、光掩膜、柔性显示材料等昂贵或娇贵的样品，在测量的同时完美保护您的产品。

核心优势：自动Mapping功能： 这是区别于传统设备的革命性功能。用户可轻松设定扫描区域和步长，设备即可自动执行面扫描，快速生成薄膜厚度、折射率等参数的二维分布图。这不仅取代了繁琐低效的“盲人摸象”式单点测量，更能直观地揭示薄膜的均匀性、发现局部缺陷，让工艺优化有的放矢。

多样化数据输出： 测量结果不再局限于孤立的数字。我们提供包括厚度分布云图、均匀性统计报告（最大值、最小值、平均值、标准差）、3D形貌图以及原始光谱数据在内的多种输出格式。丰富的数据形态，既能满足产线快速判定的需求，也能为研发部门的深度分析提供全面支持。

易于集成： 设备设计充分考虑了工业应用的灵活性。提供标准的软件接口（API）和硬件通讯协议，可轻松集成于您的自动化生产线、晶圆探针台或洁净机器人系统中，实现在线式或离线式自动化量测，无缝融入智能制造的各个环节。