1.高精度微观表面测量 2.无接触式测量

3.快速测量与数据处理 4.大面积扫描能力

5.高度可定制化6.多种分析模式

1.膜层厚度无损测量2.支持测量区域光斑可视 

3.支持带图形样品、粗糙表面样品测量4.支持微小区域测量

5.支持厚度均匀性测量 6.支持参数调整测量

1.膜层厚度无损测量2.膜层折射率无损测量 

3.可测多种薄膜4.支持单层、多层膜测量

5.支持平面曲面测量6.支持参数调整测量

1.光致发光测量不止近红外2.可测中红外光谱 覆盖400-4000CM^-1

3.可按需求定制多波长激发光源4.步进扫描结合锁相放大技术可有效抑制背景辐射

5.提高微弱PL信号检测能力6.模块化产品 结构稳定 换样方便

1.自动光学对焦2.光强选择

3.相位补偿4.一键式完成对各种薄膜的

5.直接测量及分析工作6.软件功能强大，系统稳定美观

1.三轴全伺服闭环控制系统2.高分辨率130万高清彩色CCD

3.全自动变倍镜头4.可选配激光位移感测系统

5.高精度大理石底座、立柱及XY工作台 保证机器长期稳定性

1.高度定制化服务2.同时支持样品高透与高反区域测量

3.优于1μm，最高可达 0.5 μm4.检测灵敏度优于70nm

5.自定义多角度检测6.智能化筛选最优无缺陷区域    

7.光电倍增管检测整体均匀性特征结合 CMOS 检测局部缺陷特征，极大降低漏检率

8.软件集成度高、灵活性强、提供管理员和操作员模式，确保系统安全性