显微反射膜厚仪 FT400_江苏集萃中科先进光电技术研究所有限公司

产品描述

利用光学干涉，采用微米级聚焦光斑，通过分析薄膜表面反射光和薄膜与基底界面反射光相干涉形成的反射光谱，快速准确测量薄膜厚度、光学常数等信息，广泛应用于半导体镀层、液晶显示器、光学镀层和生物医学等领域。

产品功能

膜层厚度无损测量

避免传统接触式测量（如台阶仪）可能造成的划伤或形变

结合高倍率显微物镜和精密光路设计，将测量光斑聚焦至微米级。

避免盲测，提升测量重复性，尤其适用于不规则或异形样品。

自动移动样品台，按网格或自定义路径采集多点数据。

如SiO₂、光刻胶、PET薄膜，可通过多峰干涉解析各层厚度。

用户可保存不同材料的测量模板，提升批量检测效率。

产品特点

1.高精度、高稳定性无损测量。

2.支持小尺寸光斑定制。

3.可用于薄膜厚度均匀性测量，生成多点报表。

4.可测量高曲率样品，在极小测量视场范围场景同样适用。

5.可测量表面粗糙样品、带图形样品，精准定位待测区域。

6.光斑可视，搭配位移台，使定位测量使用更便捷。

三视图

技术参数

检测案例